REI130V
■ 具有3~10mm垂直行程的纳米定位性能
■ 重复定位精度最高可＜200 nm，定位精度＜300nm
■ 控制分辨率优于0.3nm
■ 卓越位置定位能力(稳态误差)，可优于2nm
■ 高刚性的交叉滚柱轴系，出色的动态响应能力
- 产品概要
- 技术指标
- 产品尺寸
- 订购信息
REI_V系列纳米垂直升降台，是一款标准化、模块化，楔形结构的高精度垂直升降平台。其采用无铁芯直线电机驱动，精密交叉滚柱导向，是速度、精度、系统分辨率、重复定位精度、可靠性、紧凑尺寸的最好结合，作为REI系列产品的衍生产品，该平台表现出了与REI_LM系列同样的运动性能，是需要紧凑空间应用的最佳Z轴选择。
■ 非接触式直接驱动
非接触式直接驱动技术的应用，使精密微加工和精密测量设备具备了可靠、稳定、准确而快速的定位能力，从而使其大规模生产成为可能。REI_V系列微动纳米垂直升降台是先进的直接驱动技术实现纳米级定位性能的代表作品之一。非接触式直接驱动技术具有高动态性能、零齿槽效应、亚纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。独特的结构设计、紧凑的空间尺寸使其在严苛的安装空间中同样可以获得高性能。
■ 灵活的系统设计
REI_V系列产品具有标准化的通用安装方式，便于系统集成。二轴、三轴或更多轴的应用均可以通过标准孔位灵活的进行组装搭配。灵活的设计非常便于多轴配置和应用。
■ 出色的动平衡机制
REI225V纳米垂直升降平台，可选动平衡配置。其采用几乎零摩擦的平衡机制，维持高性能的同时最大限度的减少电机的发热。平衡能力从0到15Kg用户可调。
■ 系统特性
极高的系统分辨率是出色的精度、重复定位精度、位置稳定性的基础。REI_V 纳米垂直升降台在直线电机应用中实现了优于5nm的最小增量运动，该系列平台具有零背隙和近乎零系统迟滞性特性，从而可以实现精确和高重复的纳米运动，以及极低速的平滑运动(10nm/s)。
