REI95LM
■全行程均具有卓越的纳米定位表现
■重复定位精度最高可优于75 nm，定位精度最高可优于100nm
■控制分辨率优于0.3nm
■位置定位能力(稳态误差)优于2 nm
■高刚性的滑动摩擦轴系，出色的动态响应能力
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- 技术指标
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■卓越的定位能力
REI系列纳米定位平台是标准化、模块化的纳米定位平台。REI95LM纳米定位平台拥有超过100mm的行程，定位精度最高可优于100nm。采用高刚性的滑动摩擦轴系实现了速度、精度、分辨率、重复定位精度、尺寸和可靠性的完美结合。拥有最高5g的加速度、500mm/s的速度、毫秒级的快速整定表现。
■非接触式直接驱动
REI95LM系列纳米定位平台是先进的直接驱动技术实现纳米级定位性能的代表作品之一。具有高动态性能、零齿槽效应、亚纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。特别适合于光纤耦合制造、传感器测试与扫描、显微镜应用等各种需要平稳、快速定位和精确的运动场合。
■极致的动态性能
极高的系统分辨率是出色的精度、重复定位精度、位置稳定性的基础。REI95LM平台在直线电机应用中实现了优于1nm的最小增量运动，该系列平台完全无背隙和近乎零系统迟滞性从而可以实现精确和高重复的纳米运动。
■灵活的系统设计
REI95LM具有标准化的通用安装方式，便于系统集成。XY、XYZ或更多轴的应用均可以通过标准孔位灵活的进行组装搭配。灵活的设计非常便于多轴配置和应用。
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