REI130LM
■全行程均具有卓越的纳米定位表现
■重复定位精度最高＜75 nm，定位精度＜100nm
■控制分辨率优于0.3nm
■位置定位能力(稳态误差)优于2 nm
■高刚性的滑动摩擦轴系，出色的动态响应能力
- 产品概要
- 技术指标
- 产品尺寸
- 订购信息
■非接触式直接驱动技术
REI130LM在紧凑的空间内实现了出色的性能，无负载可以达到1g最大加速度和350mm/s的最大速度以及毫秒级的快速整定性能。出色的工作效率明显优于其他采用精密滚珠丝杆驱动的同类平台。
■多种行程及精度等级可选
REI130LM系列纳米定位平台在整个160mm最大行程范围内均可以提供纳米级的精确定位性能。它具有低组高和出色的动态特性，是计量检测、高精度定位、测量等应用的理想解决方案。
■极致的动态特性
REI130LM以其优于2nm的最小增量运动以及≤1nm的位置定位能力(稳态误差)，可以轻松的满足该类应用。REI130LM纳米定位平台可以通过小微步距、精确定位能力，在需要特别高的步进精度应用时提供关键的解决方案。
■灵活的多轴应用
REI130LM可以结合其他的平台产品快速创造出独特、高性能的多轴系统，如:Z向纳米定位平台(REI130LM-Z)、精密转台、角位移台(测角仪)等。同时REI130LM平台在进行XY组合应用时可以提供正交误差修正、线性误差修正等增值服务。
■ 长寿命设计
REI130LM系列纳米定位平台具有极佳的稳定性和可靠性设计，在整个生命周期内能够长期保持出色的性能。直线电机直接驱动以及非接触式线性编码器的应用，不仅可以保持长寿命，同时也可以长期免维护（滑动摩擦轴系需要定期维护）。
