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REI180LM

■260mm全行程均具有卓越的纳米定位表现

■重复定位精度最高<100nm,定位精度<125nm

■控制分辨率优于0.3nm

■位置定位能力(稳态误差)优于2 nm

■高刚性的滑动摩擦轴系,出色的动态响应能力


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■卓越的定位能力

REI180LM系列纳米定位平台拥有超过260mm行程,定位精度最高可优于100nm。采用高刚性的滑动摩擦轴系实现了速度、精度、分辨率、重复定位精度、尺寸和可靠性的完美结合。该系列纳米定位平台拥有毫秒级的快速整定表现。 

■极致的动态特性

REI180LM以其优于2nm的最小增量运动以及小于1nm的位置定位能力,可以轻松的满足该类应用。REI180LM纳米定位平台在需要特别高的步进精度应用时提供关键的解决方案。

■非接触式直接驱动技术

REI180LM在紧凑的空间实现了出色的性能,无负载可以达到2g最大加速度和500mm/s的最大速度和毫秒级的快速整定性能。出色的工作效率明显优于其他采用精密滚珠丝杆驱动同类平台。

■多种行程及精度等级可选

REI180LM在整个260mm最大行程范围内均可以提供纳米级的精确定位性能。它具有低组高和出色的动态性能,是计量检测、高精度定位、测量等应用的理想解决方案。

■多轴应用

REI180LM可以结合其他的平台产品快速创造出独特、高性能的多轴系统,如:Z向纳米定位平台(REI130LM-Z)、精密转台、角位移台(测角仪)等。同时REI180LM平台在进行XY组合应用时可以提供正交误差修正、线性误差修正等增值服务。


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