SWI165LM
■负载台面165mm，标准行程50~600mm
■双向重复定位精度可优于150nm，经线性误差修正后定位精度可优于300nm
■整体侧密封结构，低成本、高性能的超精密直接驱动技术
■标准模块化设计，灵活的单轴/多轴解决方案
- 产品概要
- 技术指标
- 产品尺寸
- 订购信息
■极致的精密定位能力
SWI165LM Ite Ⅳ系列亚微米精密直驱平台是经过不断优化的最新一代亚微米级直驱平台，具有高精度、高动态性能。能够实现纳米级的最小增量运动和亚微米级的双向重复定位精度。经线性误差修正后，双向重复定位精度最高可优于150nm，定位精度优于300nm。
■非接触式直接驱动
SWI165LM Ite Ⅳ 直驱平台采用高效率的无铁芯直线电机作为驱动部件，该平台具有零间隙传动、零齿槽效应、平滑的运动、亚微米级的定位能力和出色的动态响应能力。是高吞吐量、高可靠性、高性能、精密定位、静音运行等应用的理想解决方案。
■出色的防护能力
SWI165LM Ite Ⅳ 平台采用长寿命精密直线导轨轴系配合特殊设计的低摩擦侧密封结构，使得SWI165LM Ite Ⅳ系列直驱平台特别适用于工业应用，如高动态激光加工解决方案。该系列平台的侧密封结构可有效防止加工碎片、灰尘和明显颗粒进入平台，提高产品的使用寿命，同时可选配的正压空气除尘系统进一步提升了防护能力，是轻度污染环节使用的理想选择。
■良好的系统集成灵活性
SWI165LM Ite Ⅳ设计有很多标准的功能和选项。该产品具有多个产品型号，设计行程从50mm到600mm，速度可到2000mm/s，具有完善的单轴/多轴线缆管理方案，使得设计具有充分的灵活性，便于系统的快速开发。
■洁净室版本
SWI165LM Ite Ⅳ是经第四次迭代优化的SWI-LM系列亚微米精密直驱平台升级而来。该平台采用SP级滚动摩擦导轨、整体侧密封结构，是空间受限同时又需要高性能应用时的理想选择。经特殊处理，该平台可以提供洁净室、真空和低温版本。
