REI130XY纳米定位平台

■集成一体式、低组高结构XY纳米定位平台,行程可达160×160mm

■控制分辨率＜0.3nm, 重复定位精度最高≤75 nm

■位置定位能力优于1 nm

■快速的整定时间，25ms可进入±5nm的稳态误差

■高刚性的滑动摩擦轴系，出色的空间几何精度

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REI130XY采用集成式一体化、低组高设计，拥有超过160*160mm的行程，平台总高仅90mm。采用滑动摩擦轴系，由REI130LM单轴产品衍生开发而来。具有完整的硬限位和软限位保护，综合线缆管理系统和三种不同精度等级规格。

■ 超高的空间几何精度

REI130XY允许对诸如正交误差、直线度、平面度等关键指标进行优化，从而实现用户特殊指定允许的公差范围。该产品没有背隙并且近乎零系统迟滞性，在整个二维空间运动范围内均可以保证精确定位和高重复性的纳米级运动性能。

■ 超高精度等级选项

多轴定位系统为了达到尽可能高的系统精度（特别是纳米级精度），必须在严格的环境条件下，在机械系统完全组装、功能测试完毕，使用特定检测仪器通过对REI130XY平台进行动态轨迹检测，同时将检测数据通过系统控制软件进行动态校准，经校准后可以保证二维运动精度达到±150nm或者更好。

REI95XY标准版本和超高精度版本的性能差异主要通过正交误差进行体现。经校准后的超高精度版本可以对直线度、正交误差、偏航角误差等带来的精度误差进行部分修正消除，但并不意味着改变了原始的物理机械精度。

■ 非接触式直接驱动

REI130XY采用非接触式直接驱动技术，具有高动态性能、零齿槽效应、亚纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。独特的结构设计、紧凑的空间尺寸使其在严苛的安装空间中同样可以获得高性能。特别适合于光纤耦合制造、传感器测试与扫描、显微镜应用等各种需要平稳、快速定位和精确的运动场合。

■ 多轴应用

REI130XY可以结合其他的平台产品快速创造出独特、高性能的多轴系统，如：Z轴升降平台(REI95LM-Z)、精密转台、角位移台（测角仪）等；

Note:

注1：在环境温度20℃，平台水平放置使用的情况下，使用激光干涉仪测量的精度误差。≥10Plot/L，标准溯源至ISO230-2；

注2：在环境温度20℃，平台水平放置使用的情况下，使用高精度光电自准直仪测量的精度误差；

注3：基于1Vpp Sin/Cos模拟量反馈信号经控制器或驱动器细分实现；

注4：需选择合适的电机以及合适的驱动器，并根据电机扭矩以及负载核算最大加速度和最大速度，表中所列为典型值；

注5：正交误差指机械本体物理装配精度，使用激光干涉仪标定补偿后可获得最高＜2arc sec的正交误差；

注6：列出了轴上加载的负荷方向；

注7：平台采取壁挂、倒置姿势使用时，特性会发生相应变化，请提前向工程师咨询；

注8：多轴组合使用因涉及精密轴系装配工艺，请提前向工程师咨询；

注9：多轴、非标准应用或定制服务，请向工程师咨询；