Planar DL-XY中空精密直驱平台
Linear positioning platform
■低组高、集成一体式设计，大通光孔径
■控制分辨率≤1.2nm,高重复定位精度,最高≤200nm
■几何性能优异，直线度＜±0.5μm,平面度＜±1.25μm
■位置定位能力优于±15nm，快速的整定时间,25ms可进入±20nm的稳态误差
■极其出色的位置跟随能力，扫描匀速段位置跟随误差可＜±50nm
- 产品概要
- 技术指标
- 产品尺寸
- 订购信息
Planar DL-XY 集成一体式XY亚微米精密直驱平台，在低组高的紧凑几何空间内提供了大尺寸的通光孔径，并具备高动态响应能力。尤其适合于双面LED晶圆缺陷检测、高动态性能下进行准静态光学计量检测以及需要极高运动直线度和运动平面度的应用场合。该系列产品具有多个规格以及精度等级可选，最高可实现＜150nm(ISO230-2)双向重复定位性能。
■出色的空间几何精度
Planar DL-XY集成一体式亚微米精密直驱平台提供了极其出色的平面几何性能。其具备优于±0.5μm的运动直线度和优于±1.25μm的空间运动平面度。高精度宽幅式滚动摩擦轴系为平台提供了出色的支撑刚性，低重心设计更加有利于提升结构刚性。非接触式双边同步驱动消除了因大通光孔径设计从而导致的机械扭曲变形，使平台轴运动中心驱动刚度在全行程范围内保持一致，从而实现终端负载出色的运动平面度性能。
■超高精度等级选项
多轴定位系统为了达到尽可能高的系统精度（特别是纳米级精度），必须在严格的环境条件下，在机械系统完全组装、功能测试完毕，使用特定检测仪器通过对REI95XY平台进行动态轨迹检测，同时将检测数据通过系统控制软件进行动态校准，经校准后可以保证二维运动精度达到±200nm或者更好。
Planar DL-XY标准版本和超高精度版本的性能差异主要通过正交误差进行体现。经校准后的超高精度版本可以对直线度、正交误差、偏航角误差等带来的精度误差进行部分修正消除，但并不意味着改变了原始的物理机械精度。
■非接触式直接驱动
Planar DL-XY 二维平面亚微米精密直驱平台具有高动态性能、零齿槽效应、纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。
Planar DL-150XY和Planar DL-250XY,每个轴均配置为两个电机同步驱动且具有高伺服控制带宽，所产生的推力和摩擦力均保持在平台的几何中心，这样的设计实现了平台出色的机械几何精度与动态性能的有机结合。
■集成线缆管理
Planar DL-XY二维平台拥有专为长寿命和性能优化而设计的电缆管理系统，可以非常方便的与其他平台进行组合使用。特殊的线缆管理方案可以提供额外的真空气路走线。
