REI130ZS
■ 零摩擦双平衡Z向纳米定位平台
■ 重复定位精度最高＜75 nm，定位精度＜100nm
■ 控制分辨率优于0.3nm
■ 位置定位能力(稳态误差)优于2 nm
■ 高刚性的滑动摩擦轴系，出色的动态响应能力
- 产品概要
- 技术指标
- 产品尺寸
- 订购信息
REI130ZS和REI130ZS-Plus 双平衡Z向纳米定位平台是速度、精度、系统分辨率、重复定位精度、可靠性、紧凑尺寸的最好结合，作为REI系列产品的衍生产品，该平台表现出了与REI130LM系列同样的运动性能，是需要紧凑空间应用的最佳Z轴选择。
■ 出色的动平衡机制
REI130ZS纳米定位平台采用几乎零摩擦的平衡机制，维持高性能的同时最大限度的减少电机的发热。平衡能力从0到14Kg用户可调。
■ 非接触式直接驱动
非接触式直接驱动技术的应用，使精密微加工和精密测量设备具备了可靠、稳定、准确而快速的定位能力，从而使其大规模生产成为可能。REI130ZS系列微动纳米定位平台是先进的直接驱动技术实现纳米级定位性能的代表作品之一。非接触式直接驱动技术具有高动态性能、零齿槽效应、亚纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。独特的结构设计、紧凑的空间尺寸使其在严苛的安装空间中同样可以获得高性能。特别适合于光纤耦合制造、传感器测试与扫描、显微镜应用等各种需要平稳、快速定位和精确的运动场合。
■ 灵活的系统设计
REI系列产品具有标准化的通用安装方式，便于系统集成。二轴、三轴或更多轴的应用均可以通过标准孔位灵活的进行组装搭配。灵活的设计非常便于多轴配置和应用。
■ 系统特性
极高的系统分辨率是出色的精度、重复定位精度、位置稳定性的基础。REI130ZS Z向纳米定位平台在直线电机应用中实现了优于2nm的最小增量运动，该系列平台完全无背隙和近乎零系统迟滞性从而可以实现精确和高重复的纳米运动，以及极低速的平滑运动(＜10nm/s)。
