15_定位精度误差源构成

发布日期:2021-08-31 作者: 点击:

定位精度误差源构成

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定位精度误差源分析

■  对定位精度会产生影响的因素主要有:余弦误差、阿贝误差、热膨胀效应、反馈系统物理精度、反馈系统电子细分抖动误差、稳态误差(位置抖动误差)、回程误差(背隙和系统迟滞性)等。此外,在运动的六个方向上产生不规则的偏摆也会对精度带来不确定的影响

■  图例中,受导向系统的准确性以及生产工艺的限制,定位精度呈现出沿轴行程方向近似斜率的变化。其中,斜率误差主要由余弦误差和热膨胀效应引起,局部S型变化主要由栅尺物理形变引起

■  不可控的环境会引入大量测量误差。如温度、振动、噪声等,其会导致激光干涉仪在工作时引入大量测量误差,从而引起定位精度示值误差,影响对定位精度的准确判定


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