线性测量_激光干涉仪的组成

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为计量单位的高精度、高灵敏度专用精密检测设备，其分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪，作为标准计量检测设备，广泛应用于各种精密定位机构检测。

通常激光干涉仪采用高稳定氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术，实现高精度(0.05ppm)、稳定性好的激光输出。配合高精度环境补偿单元、高精度信号处理系统、计算机控制系统技术，结合线性镜组能实现0.5ppm精度的线性测量精度。也可以通过不同镜组的组合使用实现角度、直线度（平行度）、平面度、垂直度、回转轴等参数的精确测量，并进行动态分析。

线性精度测量时，通常由以下几部分构成：主机(高精度激光输出)、测量反射镜、线性干涉镜、环境补偿单元、高精度温湿度传感器、高精度压力传感器、测量分析软件、电脑构成。

依据十余年对不同品牌激光干涉仪对比使用经验，我们十分谨慎的推荐广大用户使用深圳市中图仪器股份有限公司研发并生产的SJ6000激光干涉仪。经BHC团队严格测试，SJ6000激光干涉仪拥有极其出色的热稳定性和可靠性，其出色的热稳定性超过了同类竞品(单频激光干涉仪)。

干涉测量原理

一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束 (1) 具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05 ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光：反射光束 (2) 和透射光束 (3) 。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。

如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。这些变化（干涉条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。

计量检测标准使用环境