REI95XY纳米定位平台
REI95XY采用集成式一体化、低组高设计，拥有超过50mm的行程，平台总高仅75mm。具有完整的硬限位和软限位保护，综合线缆管理系统和四种不同精度等级规格。
■ 非接触式直接驱动
REI95XY纳米定位平台具有高动态性能、零齿槽效应、亚纳米级分辨率、极低的速度波动、高速高精度等特点。特别适合于光纤耦合制造、传感器测试与扫描、显微镜应用等各种需要平稳、快速定位和精确的运动场合。
■ 极致的空间几何精度
REI95XY允许对诸如正交误差、直线度、平面度等关键指标进行优化，从而实现用户特殊指定允许的公差范围。该产品没有背隙且近乎零系统迟滞性，在整个二维空间运动范围内均可以保证精确定位和高重复性的纳米级运动性能。
■ 超高精度等级选项
多轴定位系统为了达到尽可能高的系统精度（特别是纳米级精度），必须在严格的环境条件下，在机械系统完全组装、功能测试完毕，使用特定检测仪器通过对REI95XY平台进行动态轨迹检测，同时将检测数据通过系统控制软件进行动态校准，经校准后可以保证二维运动精度达到±150nm或者更好。
REI95XY标准版本和超高精度版本的性能差异主要通过正交误差进行体现。经校准后的超高精度版本可以对直线度、正交误差、偏航角误差等带来的精度误差进行部分修正消除，但并不意味着改变了原始的物理机械精度。
■ 多轴应用
REI95XY可以结合其他的平台产品快速创造出独特、高性能的多轴系统，如：Z轴升降平台(REI95LM-Z)、精密转台、角位移台（测角仪）等；
