10_阿贝误差
发布日期：2021-08-09 作者： 点击：
阿贝误差
Abbe Error是指在测量过程中，因轴角度偏摆与阿贝偏置的联合作用，造成被测点的空间坐标值（即测量值）与实际值之间产生的线性轴误差。特别是当被测点距离运动轴相对较远，即阿贝臂h较大时，这类型的误差将会对运动物体的空间位置精度造成重大影响。阿贝误差属于单向递增的线性误差，在运动控制器中可以对其进行标定和补偿。例如，当直驱平台存在h=20mm的阿贝臂，在运动过程中产生1µrad的角度偏摆时，产生的阿贝误差约为20nm。
Note:
■ 当测量点在一个相对长的运动轴上运动时，这种类型的误差就会变的很多
■ 例：当直驱平台存在20mm的阿贝臂，在运动过程中产生1µrad的角度偏摆时，阿贝误差约为0.02μm
■ 例：直驱平台运动轴系在整个运动过程中Pitch、Yaw、Roll三个方向的角摆误差得不到有效控制，其产生的Abbe Error有多大？
■ Pitch、Yaw、Roll对于微米和亚微米级的精密直驱平台的影响？
■ Abbe error属于单向递增的误差，通过控制器补偿可以消除
■ 多轴组合应用时，阿贝误差会对空间重复/定位精度造成重大影响。且机械导向角摆误差重复性较差时，无法通过误差传递函数进行补偿
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